В Зеленограде готовят площадку для установки металлизации чипов

Опубликовано: 06:00, 19.06.2026

ГК «Элемент» начала подготовку площадки в Зеленограде для первой российской промышленной установки алюминиевой металлизации чипов методом вакуумного напыления. Для нее строят специализированную чистую комнату и инженерную инфраструктуру уровня, который обычно требуется фабрикам микроэлектроники, а не обычным лабораториям. Параллельно Минпромторг финансирует разработку самой


установки, которая должна заменить системы Applied Materials и Evatec на линиях 180-90 нм. Проектирование инфраструктуры выполняет компания «Системные решения», выигравшая конкурс НИИ молекулярной электроники. Цена контракта составила 21 млн рублей. Испытательный центр разместят на площади около 350 кв. м в Зеленограде, а на разработку самой установки в федеральном бюджете на 2026 год предусмотрено около 2 млрд рублей. Речь идет о восьмимодульной системе вакуумного напыления с двумя


роботизированными манипуляторами для работы с 200-мм кремниевыми пластинами. Оборудование должно наносить слои алюминия, титана и нитрида титана. Эти материалы используют при формировании межсоединений и защитных покрытий на микросхемах. Завершить разработку планируется к концу сентября 2030 года. Для такой установки обычного помещения недостаточно. В проект заложены отдельные зоны для нанесения металлизации,


измерительного блока и инженерных систем. Основная производственная зона должна соответствовать классу чистоты ISO 6, а вспомогательные помещения — ISO 8. Также понадобятся резервное электропитание, подача сверхчистых газов, охлаждение, контроль электромагнитных помех и непрерывный


мониторинг параметров среды. фильтрация воздуха до частиц 0,3 микрона температура около +22 ±2 °C влажность порядка 50% вибрации не выше 6 мкм/с Зависимость от зарубежных установок Для российского рынка это не рядовой проект по локализации. Установки осаждения и металлизации десятилетиями поставляли несколько зарубежных групп,


в первую очередь Applied Materials, Lam Research, Tokyo Electron и Evatec. После ограничений на поставки такого оборудования именно этот сегмент стал одним из самых болезненных для фабрик зрелых техпроцессов: заменить можно не только сам инструмент, но и всю связанную с ним инженерную обвязку, квалификацию процессов и сервис. Техпроцессы 180-90 нм выглядят


скромно на фоне передовых норм, хотя для промышленной электроники, силовых компонентов, телеком-оборудования, смарт-карт и части автомобильной электроники это рабочий диапазон. Такие линии обычно строятся вокруг 200-мм пластин, и спрос на них в мире сохраняется. SEMI ранее прогнозировала дальнейший рост мощностей 200-мм фабрик в мире до второй половины десятилетия, несмотря на общий фокус отрасли на более тонких нормах. Проблема в том, что даже при локальной


разработке установки зависимость не исчезает автоматически. Эксперты отрасли признают, что часть компонентов для чистых помещений, газовых систем, вакуумной арматуры, измерения вибраций и климатического контроля российские проекты все еще закупают за рубежом, чаще всего через Китай. Это делает сроки чувствительными не только к финансированию, но и к доступности комплектующих и сервисных цепочек. Для «Элемента» и НИИМЭ проект важен еще и как проверка способности собирать не отдельный


модуль, а связанный производственный контур. В российской микроэлектронике уже были примеры, когда разработка оборудования упиралась не в механику или вакуумную камеру, а в стабильность технологических режимов, программное управление и повторяемость результата на


пластине. В металлизации именно повторяемость определяет, можно ли переводить установку из статуса опытной в промышленную. Мировой рынок оборудования для выпуска полупроводников измеряется десятками миллиардов долларов в год, и в нем доминируют американские, японские и европейские поставщики. На этом фоне российский проект выглядит точечным, зато его ниша понятна: зрелые техпроцессы, локальные фабрики и снижение зависимости от единичных импортных систем. Если


разработку доведут до серийной эксплуатации к 2030 году, следующим узким местом станут уже не помещения, а масштабирование сервисной поддержки и поставок расходных материалов для нескольких линий сразу.


В Зеленограде готовят площадку для установки металлизации чипов

Сообщает itzine.ru

 

Новость из рубрики: Технологии и Hi-Tech

 

Поделиться новостью: Поделиться новостью в Facebook Поделиться новостью в Twittere Поделиться новостью в VK Поделиться новостью в Pinterest Поделиться новостью в Reddit

 

Топ Новости Недели Топ Новости Недели

 

В Зеленограде строят чистую комнату для первой российской установки металлизации чипов  на замену американской и швейцарской систем 07:00, 19 Июн В Зеленограде строят «чистую комнату» для первой российской установки металлизации чипов — на замену американской и швейцарской систем Минпромторг профинансирует разработку отечественного аналога оборудования Applied MaterialsГруппа компаний «Элемент» начала подготовку инфраструктуры...

Без чипов Samsung, Micron и Hynix. Gloway и KingBank представили 48-гигабайтные комплекты памяти на базе домашних чипов 18:00, 16 Июн Без чипов Samsung, Micron и Hynix. Gloway и KingBank представили 48-гигабайтные комплекты памяти на базе «домашних» чипов В них используются 24-гигабитные чипыКитайские компании Gloway и KingBank представили новые модули оперативной памяти DDR5, созданные на базе произве...

Про ремонт стиральных машин с разбором причин неисправностей, методов диагностики, самостоятельного устранения поломок, профилактического обслуживани 17:22, 28 Мар Про ремонт стиральных машин с разбором причин неисправностей, методов диагностики, самостоятельного устранения поломок, профилактического обслуживания и влияния современных технологий на долговечность бытовой техники Стиральная машина является одним из самых востребованных бытовых приборов в современном доме. Она значительно упрощает повседневную жизнь, экономит в...

Глава NASA показал с вертолёта разрушенную после гигантского взрыва стартовую площадку ракеты New Glenn 08:00, 30 Май Глава NASA показал с вертолёта разрушенную после гигантского взрыва стартовую площадку ракеты New Glenn «Мы полны решимости помочь команде «Синих» восстановиться»Администратор NASA Джаред Айзекман прибыл на мыс Канаверал, где ранее взорвалась ракета New...

NASA доставило на стартовую площадку гигантскую ракету SLS и космический корабль Orion для лунной миссии, намеченной на 1 апреля 00:00, 21 Мар NASA доставило на стартовую площадку гигантскую ракету SLS и космический корабль Orion для лунной миссии, намеченной на 1 апреля Ракета Space Launch System (SLS) и корабль Orion для миссии Artemis II прибыли на стартовую площадку 39B в Космическом центре имени Кеннеди во Флорид...

Система ЭРА-ГЛОНАСС для автомобилей: преимущества, особенности и важность профессиональной установки 04:00, 25 Мар Система «ЭРА-ГЛОНАСС» для автомобилей: преимущества, особенности и важность профессиональной установки Автомобильная промышленность активно развивается. Вместе с ней появляются новые технологии, повышающие уровень безопасности на дорогах. Одной из ключ...

Как держит заряд батарея после установки iOS 26.4.2. Узнай, повезло твоему Айфону или нет 03:00, 27 Апр Как держит заряд батарея после установки iOS 26.4.2. Узнай, повезло твоему Айфону или нет Как новая iOS 26.4.2 влияет на время работы iPhone? Apple неожиданно выпустила iOS 26.4.2 — всего через две недели после релиза iOS 26.4.1. Релиз жда...

От эмоционального смысла и традиций до материалов, технологий изготовления, бюджета, установки и долгосрочного ухода за памятником 18:10, 20 Мар От эмоционального смысла и традиций до материалов, технологий изготовления, бюджета, установки и долгосрочного ухода за памятником Выбор памятника умершему — это не просто покупка изделия, а важный и эмоционально сложный процесс. Памятник становится символом памяти, уважения и лю...

17:50, 21 Мар Каменные подоконники в интерьере: как правильно выбрать, сравнить материалы, учесть нюансы установки и создать стильное пространство с долговечным результатом Каменные подоконники становятся всё более популярным решением в современном интерьере. Они сочетают в себе эстетическую привлекательность, прочность ...

16:55, 21 Мар О домашних кондиционерах: от принципов работы и видов систем до энергоэффективности, выбора, установки, ухода, влияния на здоровье и современных инновационных технологий для комфортного микроклимата в доме Кондиционеры для дома стали неотъемлемой частью современного комфорта. Они обеспечивают поддержание оптимальной температуры и влажности, улучшая каче...

11:00, 07 Апр В Калуге готовят к выпуску новый кроссовер На калужском автозаводе «АГР» вскоре начнут собирать новую модель. Как сообщил губернатор региона Владислав Шапша в интервью ТАСС, речь идёт о кроссо...

15:00, 09 Май Семь пляжей в Брянске готовят к купальному сезону Семь пляжей в Брянске готовят к купальному сезону. Об этом сообщили в пресс-службе мэрии. На оперативном совещании в Брянской городской администрации...

02:00, 02 Июн Летний детский отдых: депутаты готовят налоговые льготы Жара, детский гвалт и запах сосновой хвои — это классика летних каникул. Но для родительского кошелька поездка ребенка в лагерь часто превращается в ...

08:00, 20 Апр В Пензе к 9 Мая готовят легкоатлетическую эстафету и авиашоу над монументом Славы Фото: администрация ПензыГлава города Пензы Олег Денисов провёл заседание организационного комитета по подготовке к празднованию 81-й годовщины Побед...

21:00, 11 Май Боевики готовят страшное после перемирия: главная новость СВО 11 мая Элитные подразделения ВСУ переброшены в Харьковскую область в период объявленного перемирия для провокаций и возможной попытки вторжения в российские...

07:00, 06 Май Охота на миллизаряды: физики из США готовят революцию в поиске частиц Мир большой физики застрял в ожидании. Пока гигантские ускорители частиц в США и Европе пожирают миллиарды долларов и десятилетия времени, ученые из ...

19:00, 24 Май СКФУ и вьетнамский технический университет готовят совместные программы по ИИ Северо-Кавказский федеральный университет (СКФУ) договаривается о запуске совместных образовательных программ с государственным техническим университ...

15:00, 18 Апр Океан крови: Иран и США готовят страшное в Ормузском проливе Соединенные Штаты дипломатическими маневрами в отношении Ирана пытаются приблизить Исламскую Республику к обострению экономических проблем, однако по...

22:00, 04 Май Honor и ARRI готовят Robot Phone в этом году Robot Phone и ставка на съёмку Самое любопытное здесь не сам факт партнёрства, а то, кого Honor пытается копировать по ощущениям, а не по цифрам. ARR...

15:00, 17 Апр В России готовят новый закон, который должен убить VPN Только стало известно, что российские операторы подписали мораторий на расширение каналов связи с Европой, за счет чего зарубежный трафик должен силь...

02:00, 09 Июн Китайская Prinano заявила о выпуске фотонных чипов без DUV Китайский стартап Prinano сообщил, что отработал выпуск фотонных чипов на 8-дюймовых кремниевых пластинах без традиционной DUV-литографии. Вместо про...

03:00, 14 Апр Nvidia ускорила проектирование чипов до одной ночи Nvidia признала очевидное: проектирование чипов больше не держится только на людях с кофе и бесконечными таблицами. Компания уже встраивает искусстве...

02:00, 09 Июн Инженер программы чипов OpenAI перешёл в Anthropic Anthropic наняла Клайва Чана, одного из инженеров, работавших над программой собственных ИИ-чипов в OpenAI. Переход совпал с моментом, когда Anthropi...

23:00, 26 Апр Поставки чипов для смартфонов снизились на 8% в начале 2026 По данным аналитической компании Counterpoint Research, в первом квартале 2026 года глобальные поставки процессоров для смартфонов сократились на 8% ...

08:00, 16 Июн Qualcomm обсуждает покупку разработчика ИИ-чипов Tenstorrent Qualcomm ведёт переговоры о покупке стартапа Tenstorrent, который разрабатывает серверные ИИ-ускорители, пишет Reuters со ссылкой на The Information....

00:00, 28 Май Сколтех запустит контрактное производство фотонных чипов «Сколтех» объявил о запуске первого в России контрактного производства фотонных чипов на платформе «кремний на изоляторе». Университет рассчитывает в...

02:00, 27 Апр 1184 лошади под капотом: итальянцы готовят новый технологичный Lamborghini Итальянский производитель суперкаров вывел на дороги засекреченный прототип – это будущая версия Lamborghini Revuelto SV, и судя по всему, она станет...

06:00, 12 Июн Деньги на старость без спроса: в России готовят радикальную пенсионную реформу Российские ведомства готовят к запуску систему установленных пенсионных программ (УПП), которая радикально изменит подход к формированию накоплений з...

02:00, 31 Май Сводка СВО за неделю. Киев будет выжжен: ВС РФ готовят арсенал возмездия В течение минувшей недели Россия освободила целый ряд населенных пунктов, нанесли серии ударов и сделала, пожалуй, одно из самых жестких заявлений в ...

08:00, 31 Май Tesla заявила о выпуске AI5-чипов на Terafab в 2026 году Tesla планирует начать выпуск малых партий процессоров AI5 на новом полупроводниковом предприятии Terafab уже в 2026 году. О планах сообщил аккаунт, ...

20:00, 25 Мар Nvidia заявляет о возобновлении производства чипов, предназначенных для Китая Глава Nvidia Дженсен Хуанг заявил, что компания, занимающаяся разработкой технологий искусственного интеллекта, возобновляет производство своих высок...

00:00, 16 Май Android-смартфоны станут дороже iPhone из-за новых чипов Флагманские смартфоны на операционной системе Android в ближайшие месяцы рискуют сравняться по цене с iPhone, а в отдельных случаях — и превзойти их....

04:00, 15 Апр Ученые создали компьютер будущего без чипов, без батареек, без электричества Ученые сделали вычислительную систему из пружинУченые из Колледжа святого Олафа (США) и Сиракузского университета (США) создали необычную вычислитель...

22:00, 29 Май Samsung запустит завод чипов в Техасе в 2027 году Samsung подтвердила запуск серийного производства на контрактной фабрике в Тейлоре, штат Техас, в 2027 году. Завод стоимостью более $17 млрд должен с...

12:00, 22 Апр Xiaomi, Vivo, и Honor готовят стандарт работы с памятью для стабильности Android Китайские производители смартфонов, такие как Xiaomi, Vivo, OPPO, Lenovo и Honor, объединившиеся в альянс Gold Standard Alliance, работают над решени...

03:00, 19 Май Деликатесы готовят при вас за копейки: азиатский курорт который утрет нос привычной Турции Дананг открывает прямые рейсы из Владивостока, предлагая российским туристам безвизовый режим на 45 дней. Город сочетает европейскую инфраструктуру с...

16:00, 05 Апр Чужой палец на кнопке: американские фонды готовят захват контроля Газпрома Российский газ вернется в европейские конфорки ровно в тот момент, когда американские стервятники от финансов вонзят когти в обломки трубы. Бывший пр...

20:00, 26 Мар Борщевой набор под защитой закона: социальные товары готовят к принудительному удешевлению Инициатива об ограничении торговых наценок на социально значимые товары до 10% — это попытка хирургического вмешательства в живой организм рыночного ...

18:00, 15 Май Нанотермометр для чипов: российский метод увидел нагрев одного транзистора Пока производители микропроцессоров гонятся за техпроцессом в доли нанометра, российские учёные решили другую, не менее важную задачу — научились изм...

06:00, 30 Апр Ученые СПбГУ создали новый тип логических элементов для нейроморфных чипов В пресс-службе Санкт-Петербургского государственного университета сообщили, что ученые вуза предложили свежий подход к созданию логических элементов ...

20:00, 06 Июн Запущен первый промышленный сканер для выпуска чипов по технологии 28 нанометров В подмосковном Зеленограде 6 июня 2026 года состоялась торжественная церемония запуска первого полностью отечественного литографического сканера, пре...

11:00, 21 Апр Отпуск россиян может увеличиться на несколько дней. В Госдуме готовят новый расчёт В Госдуме предложили новый способ расчёта ежегодного отпуска — исключить из него выходные дни. Инициативу поддержали 72% россиян в опросе, пишет «Мос...

06:00, 12 Июн Работающим россиянам готовят новые выплаты: в системе пенсий намечается серьезный пересмотр Внедрение корпоративных пенсионных программ станет важным этапом развития социальной ответственности бизнеса и обеспечит гражданам дополнительные вып...

03:00, 05 Июн ВЭБ и правительство готовят законопроект об объединённом пенсионном фонде. Контрольный пакет заберёт государство ВЭБ.РФ совместно с правительством разрабатывает законопроект о создании объединённого пенсионного фонда. Контрольный пакет в новой структуре будет пр...

17:00, 17 Апр Защита от золотых простыней: в России готовят закон, который лишит отели права на ваш депозит Отельный бизнес в России ждет жесткая перестройка правил игры. Готовящийся законопроект должен поставить точку в истории с внезапными списаниями дене...

09:00, 25 Мар Цифровой поводок для разума: власти готовят закон, который навсегда изменит работу нейросетей Минцифры выкатило на стол черновик будущего для русского ИТ. Законопроект "Об основах госрегулирования сфер применения технологий искусственного инте...

12:00, 17 Апр Лунный скафандр от Axiom Space готовят к испытаниям: NASA требует проверки уже в 2027 году Сценарий балансирует между тестами на МКС и миссией «Артемида-3», ускоряя подготовку ключевой технологии для высадки на ЛунуAxiom Space планирует про...

11:00, 10 Июн Новейшую российскую ракету «Союз-5» уже готовят к новым полетам, ее планируют вывести на рынок как сервис Роскосмос хочет добиться, чтобы «Союз-5» стала конкурентной и привлекательной на глобальном рынке коммерческих запусковРоскосмос совместно с Казахста...

18:00, 06 Июн Нидерланды готовы вернуть Китаю контроль над производителем чипов. Что потребовали взамен Нидерланды готовы отказаться от государственного контроля над производителем чипов Nexperia в обмен на возобновление Китаем поставок критически важны...

16:00, 06 Май Строительство мегазавода Terafab по производству чипов обойдется SpaceX в 55 миллиардов долларов Но общий объем инвестиций в крупнейшее полупроводниковое производство в мире будет намного большеSpaceX Илона Маска готовится к запуску амбициозного ...

12:00, 23 Мар Илон Маск объявил строительство фабрик чипов в Техасе для Tesla и SpaceX Илон Маск сообщил о запуске нового проекта Terafab — строительства двух передовых фабрик по выпуску полупроводников в Остине, штат Техас. Одна из них...

12:00, 07 Июн Oppo и vivo готовят конкурентов DJI Osmo Pocket. Новые камеры получат сенсор на 200 Мп и флагманскую начинку Похоже, популярность компактных камер DJI Osmo Pocket заставила крупнейших производителей смартфонов обратить внимание на этот сегмент. По данным авт...

00:00, 14 Июн Минюст США одобрил без условий сделку Paramount Skydance на $110 млрд по покупке Warner Bros — штаты готовят иск Федеральный регулятор закрыл антимонопольную проверку крупнейшего слияния голливудских студий, но коалиция штатов во главе с Калифорнией пытается заб...

23:00, 02 Июн Варить свеклу больше не буду: узнала, как ее готовят шеф-повара в ресторанах - без грязи, запаха и вкус как "из печи" freepik Ресторанные шеф-повара давно отказались от варки свёклы. Вместо этого они запекают её в фольге с маслом, солью, перцем и эстрагоном. При тако...

19:00, 01 Июн Китайские компоненты вытесняют российские: рынок чипов в России сократился на 18% в 2025 году А в 2026 году он может упасть еще на 8%Российский рынок электронных компонентов по итогам 2025 года сократился на 18,3% — с $4,1 млрд до $3,38 млрд (...

17:00, 12 Май Новый тренд? Складные смартфоны резко меняют дизайн — Vivo, Oppo и HONOR готовят широкие фолды Сразу несколько китайских производителей готовят складные смартфоны с более широкими дисплеями. По данным инсайдеров, над такими устройствами уже раб...

21:00, 03 Июн Металлы больше не справляются: дерзкая находка Китая навсегда изменила правила охлаждения чипов Мировой рынок полупроводников стоит на пороге технологического прорыва. Китайские инженеры нашли способ обойти физические ограничения кремния, исполь...

18:00, 05 Июн От iPhone до орбитальных спутников: представлен первый в России лазерный комплекс для «взлома» защиты чипов Обнаружение таких «слабых звеньев» необходимо для создания более надёжной защиты и противодействия злоумышленникамНа Петербургском международном экон...

06:00, 08 Май Российский проект замены зарубежных чипов STMicroelectronics попал под штраф за почти полуторагодовую задержку Просрочка составила 475 днейМинпромторг России взыскал с «ВЗПП-Микрон» штраф в размере 16,4 млн рублей за существенную задержку в разработке специали...

17:00, 20 Мар Первая партия — бесплатно для ученых России: Бауманка запускает контрактное производство передовых фотонных чипов МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» объявили о начале приема заявок на первый контрактный запуск производства фотонных интегральных схем (ФИС) в фор...

17:00, 30 Апр Прибыль Samsung от продажи чипов взлетела в 50 раз за квартал. Компания предупредила, что дефицит усугубится в 2027 году Поставки значительно отстают от спроса клиентовSamsung Electronics сообщила о рекордной квартальной прибыли, обусловленной 50-кратным ростом прибыли ...

21:00, 10 Май В продаже появились поддельные модули DDR5: вместо реальных чипов памяти — пластиковые заглушки с маркировкой На памяти DDR5 SO-DIMM установлены «чипы» памяти с маркировкой SK hynixНа фоне продолжающегося роста цен на память в Азии начали массово появляться п...

07:00, 01 Июн Nvidia приготовила ответ Intel и AMD: все характеристики Arm-чипов N1X и N1 с графикой до 6144 ядер CUDA утекли до анонса Осталось узнать ценыНакануне ожидаемой презентации в интернете появились подробные характеристики новых Arm-платформ Nvidia серии N1, предназначенных...

01:00, 13 Июн Google может впервые доверить часть выпуска своих ИИ-чипов Icefish в пользу Samsung вместо TSMC Для корейской компании это может стать одним из крупнейших успехов в борьбе за рынок передовых чипов для искусственного интеллектаGoogle ведёт перего...

08:00, 04 Июн Крупнейшее в мире производство микросхем от Илона Маска и SpaceX: «фабрика чипов» Terafab стоимостью $55 млрд получила зелёный свет SpaceX создаст тысячи рабочих мест и получит налоговые льготы в ТехасеОкруг Граймс в Техасе одобрил налоговые льготы для компании SpaceX, которая пла...

10:00, 14 Май Прибыль Samsung рискует обвалиться, а производство чипов упасть: компания пытается возобновить переговоры с профсоюзом на фоне угрозы масштабной забастовки Конфликт из-за бонусов может ударить по компанииКомпания Samsung Electronics предложила возобновить переговоры с профсоюзом сотрудников после срыва р...

07:00, 15 Май В России должны были запустить производство чипов на замену Intel, но исполнитель допустил просрочку на два года — Минпромторг выписал крупный штраф НИИМЭ почти на два года сорвал выпуск микросхем для спутников и техникиМинпромторг выставил штраф 38,8 млн рублей Научно-исследовательскому институту...

08:00, 04 Июн «На Terafab будет установлено большое количество чрезвычайно дорогостоящих машин для производства микросхем». Крупнейший в мире завод по выпуску чипов принесет региону больше денег, чем все текущие источники вместе взятые Маск пообещал рост доходов округа на 25% от TerafabИлон Маск заявил, что будущий комплекс Terafab в округе Граймс в Техасе станет крупнейшим источник...